灵猴 LPS 单轴模组(图)
灵猴

灵猴 LPS 单轴模组

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  • 采用全闭环反馈系统,分辨率可达0.1um
  • 高定位精度和重复定位精度,可根据客户要求
  • 定制或开发更高精度运动平台
  • 多滑台安装机构,柔性更高
  • 可搭接成多轴平台

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